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產(chǎn)品中心

-PRODUCT CENTER-

清洗機器人 四手 撈取


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產(chǎn)品詳情

  • 參數(shù)
  • 安裝尺寸
  • 技術(shù)文件下載
  • 項目                         參數(shù)
    性能 行程 Z軸(升降) 585mm(可定制)
    Theta軸(旋轉(zhuǎn)) 340deg
    R1/R2/W1/W2軸(伸縮) 445mm
    最高速度 Z軸(升降) 650mm/sec
    Theta軸(旋轉(zhuǎn)) 250deg/sec
    R1/R2/W1/W2軸(伸縮) 1500mm/sec
    重復定位精度 Z軸(升降) ±01mm
    Theta軸(旋轉(zhuǎn)) ±0.02deg
    R1/R2/W1/W2軸(伸縮) ±0.1mm
    最小回轉(zhuǎn)直徑 φ585mm
    可達半徑 580mm
    概覽 支持wafer尺寸 6寸/8寸/12寸
    潔凈度 Class 1@0.1um
    負載 1.0kgf
    Fork Fork形式 撈取
    Fork材質(zhì) 陶瓷
    廠務 電源 單相AC220V,50/60Hz
  • 12“清洗機器人-四手撈取.DWG   

    12“清洗機器人-四手撈取.pdf   

    12“清洗機器人-四手撈取.STEP